
扩散炉热电偶产品简介:
半导体专用测温仪表扩散炉热电偶分为:多晶铸锭炉热偶、扩散炉专用热电偶、铸锭炉热电偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多点式扩散炉热电偶等,各种产品形态不一,大小与结构也尽不相同。做为高精度扩散炉热电偶来说,为各大光伏产业带来了许多帮助。该产品为了生产加工PECVD的隔离导电性,外表的绝缘采用透明高纯度石英管或高纯度99%刚玉管制造而成,采用多个点位温度测量,也有用户采用多点测量法计算出炉内的平均值从而获得应有的数据。
温度测量在0~1800℃中使用,测量点分为单点和多点,点可达8个点的测量,精度符合国际标准,工业等级I级,1500度误差2℃不到,精度相当高,代替进口产品。扩散炉热电偶用于光伏产业、半导体的开发与研制、科研领域、单位、进口设备(如:Centrotherm扩散炉设备、ALD真空感应炉、GT Solar 的 DSS 炉等)、烧结炉、退火炉、真空炉、氧化炉、扩散炉等,可溶化多晶硅、生长多晶硅锭、单晶硅、非晶硅、无定形硅和玻璃等工艺测温。